gebrauchter Durchflussregler MKS 1479A Mass-Flo Controller

Artikel/Typ: MKS Instruments Type 1479A Metal-Sealed Mass-Flo Controller (MFC)
Lieferumfang: Gerät, wie abgebildet, Anleitung auf Wunsch als pdf
Zustand: gebraucht, gut
Weiteres:

• Modellbezeichnung: MKS Instruments Type 1479A Metal-Sealed Mass-Flo Controller (MFC) 200 SCCM Argon (Ar)
• Hersteller / Marke: MKS Instruments, Inc. (Andover, MA, USA)
• Modell / Typ: 1479A22CR1BM--S (Type 1479A)
• Seriennummer (Serial#): 001291387
• Kalibriergas (Gas): Argon (AR)
• Durchflussbereich (Range): 200 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)
• Elektrischer Anschluss: 15-Pin D-Sub-Stecker (DB-15 Male, MKS Standard-Pinout)
• Schnittstelle / Signale: Analog 0–5 VDC Sollwert-Eingang / 0–5 VDC Istwert-Ausgang
• Versorgungsspannung: $15V DC +/- 10%
• Dichtungstechnologie: Metal-Sealed (Metallgedichtet) für leckagefreie Reinstgasanwendungen
• Werkstoffe (Wetted Materials): Elektropolierter 316L Edelstahl
• Anschlüsse (Gas Ports): Swagelok 4 VCR-Außengewinde (Male VCR) mit Schutzkappen
• Siegel-Zustand: Originales MKS-Garantiesiegel intakt („WARRANTY VOID IF SEAL IS BROKEN“)

Bei dem vorliegenden Artikel handelt es sich um einen metallgedichteten Massendurchflussregler (Mass Flow Controller / MFC) des Herstellers MKS Instruments aus der Serie Type 1479A (vollständige Modellnummer 1479A22CR1BM--S). Das Gerät ist werkseitig auf einen Durchfluss von 200 SCCM Argon (Ar) kalibriert und speziell für Reinstgasanwendungen in der Halbleiter- und Vakuumbeschichtungstechnik konstruiert. Der elektrische Anschluss erfolgt über den industriestandardisierten 15-Pin D-Sub-Stecker (0–5 VDC Analogsteuerung). Es verfügt über Swagelok-4-VCR-Anschlüsse sowie das unbeschädigte MKS-Herstellersiegel am Gehäusefuß.

Typische Anwendungsfelder:

• Reinstgas-Dosierung und Sputterprozesse mit Argon in der Halbleiterindustrie, Wafer-Prozessierung und Solarzellenfertigung
• Plasmaätz- und CVD/PVD-Vakuumbeschichtungsanlagen
• Präzisions-Gasversorgung in der Prozessanalytik und Massenspektrometrie

Vorteile:

• Metallgedichtetes System verhindert Permeation, Ausgasung und Partikelbildung im Vergleich zu Elastomerdichtungen
• Elektropolierte Edelstahlausführung (316L VAR) für höchste Reinheitsanforderungen
• Präzise Werkskalibrierung auf 200 SCCM Argon (Ar)
• Standard-15-Pin D-Sub-Schnittstelle ermöglicht direkte Kompatibilität mit MKS-Steuergeräten (z. B. PR4000, 246, 247, 647) und Fremdsystemen
• Originales Herstellersiegel ungebrochen und intakt
• Standard 3-Zoll-Footprint für einfachen 1:1-Austausch in bestehenden Gaslines

Nachteile:

• Bei Nutzung anderer Gase als Argon muss der entsprechende Korrekturfaktor angerechnet oder das Gerät neu kalibriert werden

Ein thermischer Sensor misst den Massenstrom des durchströmenden Argon-Gases. Die interne Steuerelektronik vergleicht das Sensorsignal mit dem externen 0–5 VDC Sollwert (Pin 8) und regelt das integrierte Proportional-Magnetventil präzise nach. Der aktuelle Durchfluss wird als 0–5 VDC Analogsignal (Pin 1) zurückgemeldet.

Belegung der 15-Pin D-Sub-Buchse (MKS Standard):

• Pin 1: Display / Meter Output (0–5 VDC Istwert)
• Pin 2: Signal Common (Masse Istwert)
• Pin 3: Valve Close (Ventil Schließen)
• Pin 4: Valve Open (Ventil Öffnen)
• Pin 5: Power Supply Common (Netzteil Masse)
• Pin 6: -15 VDC Versorgungsspannung
• Pin 7: +15 VDC Versorgungsspannung
• Pin 8: Setpoint Input (0–5 VDC Sollwert)
• Pin 9: Setpoint Common (Masse Sollwert)
• Pin 10–14: Reserviert / Testpunkte / Gehäusemasse
• Pin 15: Chassis Ground (Abschirmung / Gehäuse)