Massendurchflussregler MFC Mass Flow Controller UNIT UFC 1660 20sml N2

Artikel/Typ: UNIT UFC-1660 Metal ZSeal
Lieferumfang: Gerät, wie abgebildet
Zustand: gebraucht, gut
Weiteres:

• Modellbezeichnung: Unit Instruments / Celerity UFC-1660 Metal ZSeal™ Mass Flow Controller (MFC) 20 SCCM N₂
• Hersteller / Marke: Unit Instruments (Celerity / Kinetics / Brooks Instrument)
• Modell / Typ: UFC-1660 (1660 Metal ZSeal)
• Part Number (PN): 1660-105251
• Seriennummer (SN): 99180033400
• Calibration ID (Cal#): 78623
• Prozessgas (Gas / CalGas): Stickstoff N₂
• Durchflussbereich (Range): 20 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)
• Korrekturfaktor (Gas/CGas CF / Gas/N₂ CF): 1.000 / 1.000
• Dichtungstechnologie: 1660 Metal ZSeal (MF / Metal Seals) für Ultra-High-Purity (UHP)
• Anschlüsse (Gas Ports): VCR-Verschraubung (Male VCR) mit gravierter Flussrichtung ("FLOW")
• Elektrischer Anschluss: Obenliegender Card-Edge-Stecker (Kartenrandsteckverbinder, Platinenstecker)
• Maximaldruck (Max Pressure): 500 PSI MAX. (ca. 34,5 bar)
• Einstellungsfunktionen: Potentiometer für Nullpunktabgleich ("ZERO ADJUST") an der Gehäusefront
• Sicherheits- / Regelfunktionen: Autoshut / Autozero, Magnetventil (Valve: CS)
• Materialien: Edelstahl-Gehäuse (Stainless Steel Body)

Bei dem vorliegenden Artikel handelt es sich um einen professionellen, hochpräzisen Massendurchflussregler (Mass Flow Controller / MFC) des Herstellers Unit Instruments (Celerity) der Serie UFC-1660 Metal ZSeal (Part Number 1660-105251). Das Gerät ist speziell für Reinstgas- und Vakuumanwendungen konstruiert und nutzt die patentierte Metal ZSeal-Technologie (Metal Seals), um Leckraten im molekularen Bereich zu garantieren. Der Regler ist auf 20 SCCM Stickstoff (N₂) kalibriert. Wie auf der Oberseite des Geräts deutlich erkennbar ist, erfolgt der elektrische Anschluss über einen robusten Platinenstecker (Card-Edge-Stecker) mit sauberen Kontakten.

Typische Anwendungsfelder:

• Halbleiterfertigung, Wafer-Prozessierung, Sputter- und CVD/PVD-Vakuumbeschichtungsanlagen
• Reinstgas-Dosierung in der Massenspektrometrie, Gaschromatographie und Prozessanalytik
• Präzisions-Gasversorgung in der Photovoltaik-Fertigung, Oberflächenphysik und Laborforschung

Vorteile:

• Ultra-High-Purity Metal ZSeal Dichtungssystem für leckagefreie Reinstgas-Anwendungen
• Robuste VCR-Anschlüsse und Edelstahl-Messzelle für Maximaldrücke bis 500 PSI (34,5 bar)
• Praktischer Zero-Adjust Potentiometer-Zugang zur schnellen Nullpunkt-Korrektur vor Ort
• Industriestandard UFC-1660 mit Card-Edge-Verbindung (robuste Goldkontakte für optimale Signalübertragung) für schnellen 1:1-Austausch in Bestandsanlagen

Nachteile:

• Card-Edge-Stecker erfordert entsprechende Gegenbuchse / Belegung der Systemsteuerung

Ein thermischer Sensordraht misst den Massenstrom der vorbeiströmenden $\text{N}_2$-Moleküle im Kapillarrohr. Die interne Steuerelektronik (verbunden über den obenliegenden Card-Edge-Stecker) vergleicht das Messsignal mit dem extern vorgegebenen Sollwert und steuert das integrierte Solenoid-Proportionalventil (Valve CS) nach. Die Metal ZSeal™ Dichtungen verhindern jegliche Ausgasung oder Molekulardiffusion an den Gehäuseübergängen.